افزایش حساسیت حسگرهای گازی In2O3 به گاز هیدروژن
محل انتشار: هشتمین کنفرانس ماده چگال
سال انتشار: 1385
نوع سند: مقاله کنفرانسی
زبان: فارسی
مشاهده: 1,504
متن کامل این مقاله منتشر نشده است و فقط به صورت چکیده یا چکیده مبسوط در پایگاه موجود می باشد.
توضیح: معمولا کلیه مقالاتی که کمتر از ۵ صفحه باشند در پایگاه سیویلیکا اصل مقاله (فول تکست) محسوب نمی شوند و فقط کاربران عضو بدون کسر اعتبار می توانند فایل آنها را دریافت نمایند.
- صدور گواهی نمایه سازی
- من نویسنده این مقاله هستم
استخراج به نرم افزارهای پژوهشی:
شناسه ملی سند علمی:
CMC08_109
تاریخ نمایه سازی: 3 اسفند 1385
چکیده مقاله:
در این مقاله نتایج ساخت و تعیین ویژگی های حسگرهای گاز لایه نازک اکسید ایندیوم گزارش شده است . نمونه ها به روش تبخیر حرارتی بر روی زیرلایه شیشه ای تهیه شدند . اثر افزودن ناخالصی های Sb ، Se ، Ni ، Cr ، و Cd بر حساسیت این نمونه ها به 2000 ppm گاز هیدروژن در فشار آتمسفر مورد مطالعه قرار گرفت . ناخالصی Ni بیشترین حساسیت را ایجاد کرد . نتایج نشان داد که به طور کلی، لایه های تبخیری حساسیت بالایی به گاز هیدروژن دارند.
نویسندگان
محمدباقر رحمانی
آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی، مشه
سیدحسین کشمیری
آزمایشگاه تحقیقاتی میکروالکترونیک، گروه فیزیک، دانشگاه فردوسی، مشه
مراجع و منابع این مقاله:
لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که به مرور زمان دقت استخراج این محتوا افزایش می یابد. مراجعی که مقالات مربوط به آنها در سیویلیکا نمایه شده و پیدا شده اند، به خود مقاله لینک شده اند :